GB/T 15861-2012 离子束蚀刻机通用规范
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基本信息
| 标准名称： | 离子束蚀刻机通用规范 |
| 英文名称： | General specification of ion beam etching system |
| 中标分类： | 电子元器件与信息技术 >> 电子工业生产设备 >> 加工专用设备 |
| 替代情况： | 替代GB/T 15861-1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2012-11-05 |
| 实施日期： | 2013-02-15 |
| 首发日期： | 1995-12-22 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 工业和信息化部（电子） |
| 归口单位： | 工业和信息化部（电子） |
| 起草单位： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2013-02-15 |
适用范围
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前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 电子元器件与信息技术 电子工业生产设备 加工专用设备
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